祝賀！中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司榮獲“河北省技術(shù)發(fā)明二等獎”
祝賀！中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司榮獲“河北省技術(shù)發(fā)明二等獎”
近日，2024年度河北省科學(xué)技術(shù)獎勵大會在石家莊召開，中船集團(tuán)七一八所旗下中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司（以下簡稱“公司”）“集成電路用高純鹵化氫氣體制備關(guān)鍵共性技術(shù)研究及產(chǎn)業(yè)化”項目榮獲河北省技術(shù)發(fā)明獎二等獎。
在集成電路制造中，高純電子氣體是僅次于硅片的第二大原材料，被稱為芯片制造的“血液”。作為電子氣體的重要成員，高純鹵化氫氣體是芯片制造過程中不可或缺的干式清洗及精準(zhǔn)蝕刻用氣體，對刻蝕的精準(zhǔn)性和芯片良率起決定性作用。
公司自2013年起致力實現(xiàn)高純鹵化氫電子氣體制備技術(shù)的自主創(chuàng)新，歷經(jīng)近10年攻關(guān)，成功攻克了制備、純化和分析檢測等環(huán)節(jié)的技術(shù)難題并形成了高純鹵化氫電子氣體制備的集成技術(shù)。
此次榮獲河北省技術(shù)發(fā)明獎二等獎，不僅是對該項目技術(shù)成果的高度認(rèn)可，也是對公司長期以來致力于科技創(chuàng)新的肯定。公司將以此為契機(jī)，進(jìn)一步加大科技創(chuàng)新投入，以科技創(chuàng)新賦能公司高質(zhì)量發(fā)展，為推動電子特氣領(lǐng)域科技進(jìn)步作出更大貢獻(xiàn)。
關(guān)鍵詞：
推薦新聞
關(guān)于中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司年產(chǎn)3383噸高純硫化氫等電子氣體建設(shè)項目環(huán)境影響評價征求公眾意見的公告（第一次公示）
2025-04-28
中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司年經(jīng)營500噸硅烷項目環(huán)境影響評價公示（第一次）
2024-11-15
中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司年產(chǎn)3383噸高純硫化氫等電子氣體建設(shè)項目環(huán)境影響報告書征求意見稿公示
2025-06-12
分享到
地址：河北省邯鄲市肥鄉(xiāng)區(qū)化工工業(yè)聚集區(qū)緯五路1號
電話：0310-7182716
郵箱：pericsg@pericsg.com
掃碼瀏覽官網(wǎng)
隨時了解更多產(chǎn)品信息
